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Dexmet微电子0.1mm PFA延展过滤支撑层在半导体制造中的应用

发布日期:2025-03-20 作者:大连义邦科技 浏览数:15
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大连义邦推出的DEXMET PFA全氟过滤支撑网,特别设计用于高端芯片生产中的严格过滤需求,尤其是在达到0.1mm过滤精度方面表现出色,是半导体行业高效过滤系统的重要解决方案之一。这种过滤支撑层材料通过先进的延展工艺,实现了高精度过滤,并具备高通量、耐用性和抗污染特性。


 

在半导体产业中,特别是在高端芯片的生产过程中,过滤技术扮演着至关重要的角色。由于高端芯片的制造涉及到极其精细和复杂的工艺步骤,如光刻、薄膜沉积、蚀刻和化学机械抛光等,这些步骤对环境的洁净度要求极为严苛。

 

即使是微小的颗粒污染,也可能对芯片造成无法挽回的损害,导致功能失效或性能下降。因此,采用高效的过滤解决方案来移除这些微粒,对于确保最终产品的高质量和可靠性是至关重要的。在这一领域,过滤技术不仅仅是选择性的,而是成为了一个不可或缺的组成部分,直接影响到产品的性能和生产效率。

 

为确保这些工艺的完整性,高性能过滤系统必不可少。这些系统必须有效去除空气中的颗粒、气体杂质和液体污染物,以维持半导体生产所需的超洁净环境。但是传统过滤方法往往难以满足半导体制造日益严格的要求。而高精密PFA延展过滤网则提供了更优越的解决方案。


 

DEXMET PFA全氟过滤支撑网

 

以大连义邦DEXMET PFA全氟过滤支撑网为例,该产品在设计之初就考虑到了高过滤精度和大通量的过滤需求,适用于聚四氟乙烯全氟过滤结构。根据特定的材质、过滤精度、材料宽度、材料厚度、开放面积、孔径以及其他特殊工艺要求,它能够满足多种产品应用。此外,PFA全氟过滤支撑网采用国际领先的延展工艺,技术上远优于传统编织工艺。

 

目前,在国际上,除了DEXMET,其它供应商还无法实现0.1mm厚度的工业化量产。这种延展网是由定制的精密模具沿一个方向撕裂和拉伸而成。DEXMET是少数能够稳定生产高纯度PFA和PTFE聚合物延展网的国际供应商之一。这种高精密支撑层具有极强的化学稳定性、耐腐蚀性,良好的自润滑性和极低的摩擦系数,使得过滤磨损极小。


 

0.1mm厚度的PFA延展支撑层的优势

 

●更高的开孔率:开孔率超过70%,而编织过滤器的开孔率仅为30%-50%,Dexmet的延展网允许更大的流量和更低的压降。这一设计使得过滤器能够提供更大的气流通道,显著减少系统的压降,从而优化气流效率,减少能耗和降低运营成本。与此同时,高开孔率意味着更高的过滤精度和更高的空气通过率,使得整个生产环境更加稳定。

 

●精确的厚度控制:过滤器可精确制造至0.1mm的厚度,完全满足半导体应用中对过滤精度和尺寸的严格要求。无论是在大规模生产线上,还是在精密工艺的细节把控中。

 

●良好的抗污染能力:通过采用独特的三维延展网结构,Dexmet过滤网有效抵抗细小颗粒的堵塞,极大地延长了过滤器的使用寿命。即使在极端的生产环境中,它也能保持卓越的过滤效果,减少停机时间和更换频率

 

Dexmet PFA延展过滤网的应用

 

目前,大连义邦的Dexmet PFA延展过滤支撑网赢得了全球领先过滤制造商的青睐,包括Pall集团等行业巨头的信任。这种过滤网代表了过滤技术的创新,提供了行业领先的精度、耐用性和性能。通过将这些先进的过滤器集成到生产流程中,制造商能够实现生产高质量、可靠半导体芯片所需的超洁净环境。

 

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